工信部推廣國產(chǎn)氟化氬光刻機 核心技術新突破
近期，工業(yè)和信息化部發(fā)布了《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》。這一目錄聚焦于國家重器——重大技術裝備，它們對國家的綜合國力與安全具有深遠影響。所謂首臺（套）重大技術裝備，特指那些在國內實現(xiàn)技術飛躍、具備自主知識產(chǎn)權但市場業(yè)績尚未顯現(xiàn)的裝備產(chǎn)品，涵蓋整機、核心系統(tǒng)及關鍵零部件等多個層面。
在該目錄的電子專用裝備部分，特別提到了集成電路設備的進展，例如氟化氬光刻機。這款設備采用193納米光源，其分辨率已達到65納米以下，套刻精度更是控制在8納米以內。這一信息透露出我國在高端制造領域的最新技術動態(tài)。
此目錄的公布，不僅展示了我國在重大技術裝備自主研發(fā)方面的最新成果，也標志著對相關產(chǎn)業(yè)未來的推廣與應用寄予厚望，旨在推動產(chǎn)業(yè)升級和技術進步。
(責任編輯：張小花 TT1000)
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