中國芯片設(shè)備公司起訴美企竊密 核心技術(shù)保衛(wèi)戰(zhàn)！差一萬元就是一億元，這個看似刻意的索賠金額背后，是一場關(guān)乎中國半導(dǎo)體核心技術(shù)自主權(quán)的保衛(wèi)戰(zhàn)。

北京知識產(chǎn)權(quán)法院立案大廳，一份案號為（2025）京73民初908號的卷宗被正式錄入系統(tǒng)。原告是市值676億的中國半導(dǎo)體設(shè)備新銳屹唐股份，被告則是美國半導(dǎo)體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料公司。2025年8月13日，屹唐股份正式向北京知識產(chǎn)權(quán)法院提起訴訟，指控應(yīng)用材料公司非法獲取其等離子體源及晶圓表面處理技術(shù)秘密，并擅自在中國申請專利披露，構(gòu)成嚴重商業(yè)秘密侵權(quán)。屹唐股份要求法院判令被告停止侵權(quán)，并索賠人民幣9999萬元。該案已立案，尚未開庭審理。

涉案技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)——干法去膠與蝕刻設(shè)備。屹唐股份強調(diào)，其技術(shù)通過高濃度、穩(wěn)定均勻的等離子體實現(xiàn)晶圓表面處理，在蝕刻領(lǐng)域具備獨特優(yōu)勢。而蝕刻設(shè)備技術(shù)難度僅次于光刻機，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”環(huán)節(jié)之一。據(jù)屹唐股份披露，侵權(quán)根源在于應(yīng)用材料公司挖走兩名曾任職于其全資子公司Mattson Technology（MTI）的員工。這兩名員工在MTI期間簽署了保密協(xié)議，掌握等離子體處理核心技術(shù)，卻在加入應(yīng)用材料后涉嫌將技術(shù)秘密用于專利申請，并在中國境內(nèi)公開披露。更嚴峻的是，應(yīng)用材料可能已將涉密技術(shù)產(chǎn)品推向中國市場，加劇侵權(quán)行為。值得一提的是此次訴訟并非雙方首次交鋒。2023年6月，應(yīng)用材料曾起訴MTI“系統(tǒng)性竊取商業(yè)機密”，指控其挖走17名工程師并轉(zhuǎn)移技術(shù)路線圖。此次屹唐股份的反訴，實為對三年前商戰(zhàn)的延續(xù)。

半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，美國企業(yè)構(gòu)筑了難以逾越的技術(shù)護城河。應(yīng)用材料作為行業(yè)“霸主”，2025財年第一季度營收達71.7億美元（同比增長7%），市值高達1512億美元，掌控著全球半導(dǎo)體設(shè)備市場42% 的份額，其2.2萬項專利覆蓋從原子層沉積到等離子刻蝕的關(guān)鍵工藝，在14nm以下先進制程設(shè)備市場占據(jù)壟斷地位。半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)高度集中的格局，北美和日本企業(yè)占據(jù)絕對主導(dǎo)地位。在晶圓處理設(shè)備領(lǐng)域，全球前十大供應(yīng)商中美國獨占四席：應(yīng)用材料、Lam Research、KLA和Teradyne，合計市占率超過50%，其中僅應(yīng)用材料一家就占據(jù)24%的全球份額。日本則在特定領(lǐng)域形成差異化優(yōu)勢，東京電子在涂布顯影設(shè)備、Screen在清洗設(shè)備、Advantest在測試設(shè)備領(lǐng)域分別占據(jù)全球前三位置。這種格局背后是數(shù)十年的技術(shù)積累與生態(tài)協(xié)同。美國企業(yè)平均將17.7% 的營收投入研發(fā)，形成“設(shè)計-設(shè)備-制造”的閉環(huán)生態(tài)。應(yīng)用材料2025年研發(fā)投入超18億美元，持續(xù)鞏固其在原子層沉積（ALD）和極紫外（EUV）配套刻蝕技術(shù)的領(lǐng)先地位。相比之下，中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)尚未進入全球前十，21家主要上市公司總營收僅30億美元，不足全球市場的2.5%。本土設(shè)備在成熟制程（28nm及以上）已實現(xiàn)部分國產(chǎn)化，但在先進制程領(lǐng)域仍嚴重依賴進口設(shè)備。

成立于2016年的屹唐股份絕非等閑之輩。通過收購美國半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商MTI，屹唐完成了中國資本首次跨境收購半導(dǎo)體裝備公司的創(chuàng)舉。在半導(dǎo)體專家、CEO陸郝安的領(lǐng)導(dǎo)下，屹唐成功整合MTI技術(shù)，實現(xiàn)了華麗轉(zhuǎn)身。如今，屹唐在干法去膠設(shè)備領(lǐng)域全球市占率達34.6%，位居世界第二；快速熱處理設(shè)備全球市占率13.05%，同樣是全球第二，更是國內(nèi)唯一能量產(chǎn)單晶圓快速熱處理設(shè)備的企業(yè)。這些設(shè)備直接服務(wù)于芯片制造前道關(guān)鍵工序。其干法去膠設(shè)備能精準剝離光刻膠殘留，直接影響芯片良率；快速熱處理設(shè)備通過晶圓雙面加熱技術(shù)解決熱應(yīng)力變形問題，適配5nm邏輯芯片及128層3D閃存芯片制造。2025年一季度，屹唐凈利潤達2.18億元，同比激增113.09%。業(yè)績快速增長背后，是其在中國市場收入的持續(xù)攀升：2022-2024年，公司來自中國境內(nèi)的收入復(fù)合增長率達19.85%，境內(nèi)銷售占比從45.15%上升至66.67%。案件的主角屹唐股份其實也不算太弱，根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)，2023年屹唐股份在干法去膠設(shè)備領(lǐng)域以34.6%的全球市占率位居第二，在快速熱處理設(shè)備領(lǐng)域以13.05%的份額同樣排名全球第二，干法刻蝕設(shè)備也成功躋身全球前十。截至2024年末，其產(chǎn)品全球累計裝機量超過4,800臺，客戶覆蓋臺積電、三星電子、英特爾、中芯國際等全球前十大芯片制造商及國內(nèi)龍頭企業(yè)。屹唐股份立足三大核心技術(shù)高地，構(gòu)建起覆蓋晶圓加工關(guān)鍵環(huán)節(jié)的完整設(shè)備解決方案。其自主研發(fā)的干法去膠設(shè)備已躍居全球領(lǐng)導(dǎo)地位，34.6%的市場份額背后是顛覆性的技術(shù)突破——獨特的遠程電感耦合等離子體發(fā)生器技術(shù)，在實現(xiàn)更高工藝性能的同時，將設(shè)備綜合運營成本降低了27%。目前全球累計裝機量突破2000臺，成為唯一進入臺積電5納米產(chǎn)線的國產(chǎn)品牌。在快速熱處理設(shè)備領(lǐng)域，Helios03系列以創(chuàng)新性雙面加熱方案破解了高溫退火環(huán)節(jié)的熱應(yīng)力控制難題，晶圓良率提升達3.8個百分點。這項國內(nèi)唯一實現(xiàn)量產(chǎn)的尖端技術(shù)，讓屹唐股份迅速搶占13.05%的全球市場份額，并成功打入英特爾大連工廠的核心產(chǎn)線。而干法刻蝕設(shè)備Novyka03系列則憑借高選擇比、低損傷的蝕刻特性，在三維存儲器件制造環(huán)節(jié)實現(xiàn)突破，技術(shù)指標已逼近國際頂尖水平。

屹唐的訴訟請求直指要害，形成了一套完整的知識產(chǎn)權(quán)維權(quán)組合拳。爭議焦點包括技術(shù)秘密歸屬、侵權(quán)行為的認定以及懲罰性賠償?shù)倪m用。屹唐主張應(yīng)用材料通過不當手段獲取其 “利用高濃度、穩(wěn)定均勻的等離子體進行晶圓表面處理” 的核心技術(shù)。這項技術(shù)被廣泛應(yīng)用于干法去膠、干法蝕刻等半導(dǎo)體加工設(shè)備中，是屹唐的看家本領(lǐng)。屹唐指控應(yīng)用材料不僅非法獲取技術(shù)秘密，還以申請專利方式公開披露，更將專利申請權(quán)據(jù)為己有，這種多重侵權(quán)行為在半導(dǎo)體領(lǐng)域極為罕見。屹唐索賠9999萬元，明確要求適用3倍懲罰性賠償。這一數(shù)字僅比1億元少1萬元，象征意義明顯——中國企業(yè)在核心技術(shù)保衛(wèi)戰(zhàn)上寸土不讓。

這場訴訟折射出全球半導(dǎo)體設(shè)備市場格局的深刻變化，中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)正從技術(shù)追趕到法律維權(quán)，從市場跟隨到規(guī)則制定。屹唐股份在公告中明確表示，訴訟是為了保護創(chuàng)新者知識產(chǎn)權(quán)、維護自身合法權(quán)益、維護公平公正的市場競爭環(huán)境。這代表了中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的集體態(tài)度：核心技術(shù)，一寸不讓。這種底氣源于技術(shù)實力的積累。屹唐擁有445項發(fā)明專利，研發(fā)費用占比連續(xù)三年超過15%。其北京亦莊基地2024年專用設(shè)備產(chǎn)量達234臺，同比增長75%，交付周期從45周縮短至32周，產(chǎn)能利用率超90%。政策環(huán)境也在為中國設(shè)備廠商保駕護航，屹唐業(yè)務(wù)契合國家“十四五”集成電路專項規(guī)劃，2024年獲大基金二期注資，并享受研發(fā)費用加計扣除、進口零部件關(guān)稅減免等政策紅利。隨著2025年國家大基金三期啟動，設(shè)備國產(chǎn)化進程將進一步提速。