中國光刻膠領(lǐng)域取得新突破 揭秘微觀結(jié)構(gòu)
光刻技術(shù)是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者利用冷凍電子斷層掃描技術(shù)，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為。這一發(fā)現(xiàn)指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)研究成果已在《自然·通訊》上發(fā)表。
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