12月9日,湖北興福電子材料股份有限公司發(fā)布公告,以4626.78萬元收購湖北三峽實驗室重大科技成果“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實驗設(shè)備所有權(quán)”。這項半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)走向市場后,將打破該材料長期被境外企業(yè)壟斷的局面。
此次轉(zhuǎn)讓的成果G/I線光刻膠用光引發(fā)劑的關(guān)鍵技術(shù),主要用于芯片和顯示領(lǐng)域。光刻膠是芯片制造中不可或缺的材料之一,而光引發(fā)劑對其感光度和分辨率起決定性作用。目前,在國產(chǎn)芯片和顯示領(lǐng)域,光刻膠用光引發(fā)劑幾乎全部依賴美日韓進(jìn)口。
這次研發(fā)創(chuàng)新是由市場需求倒逼產(chǎn)生的。許多半導(dǎo)體客戶表示,因光引發(fā)劑遭遇限購和斷供,國產(chǎn)光刻膠多次被“卡脖子”,給國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的生產(chǎn)帶來極大壓力。興福電子希望切入光引發(fā)劑產(chǎn)業(yè)賽道,但從零開始的研發(fā)風(fēng)險令企業(yè)猶豫不決。于是,他們找到了三峽實驗室尋求幫助。
面對企業(yè)的委托研發(fā)意向,三峽實驗室迅速響應(yīng),開展光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)。經(jīng)過三年的努力,今年5月,上海一家光刻膠龍頭企業(yè)反饋稱,送樣各項指標(biāo)與國外進(jìn)口廠商達(dá)到同一水平。隨后,中試樣品在多家光刻膠企業(yè)都通過了初輪驗證,相關(guān)技術(shù)終于具備產(chǎn)業(yè)化條件。
該成果已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化前期階段,投產(chǎn)后將成為湖北第一條光刻膠用光引發(fā)劑生產(chǎn)線,對我國光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展將起到積極作用。