微軟投資“光刻機(jī)”初創(chuàng)公司 氦原子束技術(shù)引領(lǐng)芯片革新！總部位于挪威的芯片制造設(shè)備初創(chuàng)公司Lace宣布已籌集4000萬(wàn)美元資金，用于進(jìn)一步開(kāi)發(fā)一項(xiàng)可能在半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造方面取得重大進(jìn)展的技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)由微軟支持。

為了制造尖端芯片，臺(tái)積電和英特爾等制造商采用了一種稱為光刻的工藝，利用光來(lái)繪制復(fù)雜的電路，這些電路構(gòu)成了先進(jìn)人工智能芯片的基礎(chǔ)。隨著芯片組件尺寸不斷縮小，制造商們競(jìng)相提高計(jì)算能力，使用荷蘭公司ASML生產(chǎn)的基于光刻技術(shù)的系統(tǒng)。然而，新一輪創(chuàng)業(yè)公司的涌現(xiàn)引起了投資者和政府的關(guān)注，其中一些公司的目標(biāo)是與ASML競(jìng)爭(zhēng)。

Lace公司開(kāi)發(fā)了一種新方法，沒(méi)有使用傳統(tǒng)的光刻技術(shù)，而是利用氦原子束進(jìn)行光刻。Lace首席執(zhí)行官博迪爾·霍爾斯特表示，憑借這項(xiàng)技術(shù)，該公司能夠制造出比目前技術(shù)小10倍的芯片。氦原子束的主要優(yōu)勢(shì)在于它可以制造出晶體管等現(xiàn)代芯片的基本組成部分，其尺寸可以縮小一個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到“幾乎難以想象”的程度。Lace公司用于制造芯片的光束寬度大約相當(dāng)于一個(gè)氫原子，即0.1納米，而ASML公司的光刻工具使用的光束寬度約為13.5納米；一根頭發(fā)的寬度約為10萬(wàn)納米。

更小的晶體管和其他特性將使芯片制造商能夠大幅提升先進(jìn)人工智能處理器的性能，遠(yuǎn)超目前水平?；魻査固乇硎?，Lace的技術(shù)將使芯片制造商以“最終的原子級(jí)分辨率”印刷晶圓。這家總部位于卑爾根的公司完成了A輪融資，由Atomico領(lǐng)投，微軟的風(fēng)險(xiǎn)投資部門M12、Linse Capital、西班牙技術(shù)轉(zhuǎn)型協(xié)會(huì)和Nysn?也參與了投資。Lace公司已開(kāi)發(fā)出原型系統(tǒng)，并計(jì)劃在2029年左右在試點(diǎn)芯片制造廠中配備測(cè)試工具。該公司在2月份的科學(xué)光刻峰會(huì)上介紹了其研究成果。

Lace Lithography AS正在開(kāi)發(fā)一種光刻技術(shù)，該技術(shù)利用在表面燃燒的原子來(lái)定義特征，其分辨率超過(guò)了使用極紫外光刻技術(shù)所能達(dá)到的分辨率。這種被稱為BEUV的技術(shù)理論上可以實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的特征，從而支持晶體管的持續(xù)小型化并延長(zhǎng)摩爾定律。該公司由卑爾根大學(xué)首席執(zhí)行官博迪爾·霍爾斯特教授和首席技術(shù)官阿德里亞·薩爾瓦多·帕勞于2023年7月共同創(chuàng)立。

傳統(tǒng)的極紫外光刻系統(tǒng)使用波長(zhǎng)為13.5納米的光，通過(guò)一系列反射鏡和掩模在晶圓上形成圖案。原子光刻技術(shù)無(wú)需掩模即可直接進(jìn)行圖案化，其分辨率比波長(zhǎng)受限的極紫外光刻系統(tǒng)所能達(dá)到的分辨率更高。Lace在其網(wǎng)站上宣稱，通過(guò)使用原子而不是光，他們以更具成本效益的方式，并以顯著更低的能耗，為芯片制造商提供比現(xiàn)有技術(shù)領(lǐng)先15年的能力。

薩爾瓦多·帕勞和霍爾斯特教授共同撰寫了一篇發(fā)表在《物理評(píng)論A》上的論文，詳細(xì)介紹了立體氦顯微鏡的實(shí)現(xiàn)和操作。FabouLACE是一個(gè)由歐盟資助的項(xiàng)目，旨在開(kāi)發(fā)基于色散力掩模的氦原子光刻技術(shù)，項(xiàng)目預(yù)算為250萬(wàn)歐元，由歐洲創(chuàng)新理事會(huì)提供。該項(xiàng)目于2023年12月1日啟動(dòng)，至2026年11月30日結(jié)束。FabouLACE利用亞穩(wěn)態(tài)原子和基于色散力的掩模，可實(shí)現(xiàn)2納米的特征尺寸。據(jù)歐盟委員會(huì)稱，Lace Lithography的目標(biāo)是在2031年前將該技術(shù)推向市場(chǎng)。與此同時(shí)，IMEC研究所將對(duì)該技術(shù)的性能進(jìn)行監(jiān)測(cè)和驗(yàn)證。NanoLACE是此前一項(xiàng)歐盟研究項(xiàng)目，已于2024年12月31日結(jié)束。該項(xiàng)目于2019年啟動(dòng)，預(yù)算為365萬(wàn)歐元，最終獲得336萬(wàn)歐元的資助。