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工信部推廣國(guó)產(chǎn)氟化氬光刻機(jī) 核心技術(shù)新突破

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2024-09-15 09:01:05  觀察者網(wǎng)

近期，工業(yè)和信息化部發(fā)布了《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》。這一目錄聚焦于國(guó)家重器——重大技術(shù)裝備，它們對(duì)國(guó)家的綜合國(guó)力與安全具有深遠(yuǎn)影響。所謂首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備，特指那些在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)技術(shù)飛躍、具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)但市場(chǎng)業(yè)績(jī)尚未顯現(xiàn)的裝備產(chǎn)品，涵蓋整機(jī)、核心系統(tǒng)及關(guān)鍵零部件等多個(gè)層面。

在該目錄的電子專用裝備部分，特別提到了集成電路設(shè)備的進(jìn)展，例如氟化氬光刻機(jī)。這款設(shè)備采用193納米光源，其分辨率已達(dá)到65納米以下，套刻精度更是控制在8納米以內(nèi)。這一信息透露出我國(guó)在高端制造領(lǐng)域的最新技術(shù)動(dòng)態(tài)。

此目錄的公布，不僅展示了我國(guó)在重大技術(shù)裝備自主研發(fā)方面的最新成果，也標(biāo)志著對(duì)相關(guān)產(chǎn)業(yè)未來(lái)的推廣與應(yīng)用寄予厚望，旨在推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和技術(shù)進(jìn)步。

(責(zé)任編輯：張小花 TT1000)
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