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ASML控股申請(qǐng)光刻設(shè)備專利 新技術(shù)提升精度

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2024-12-10 07:56:30  金融界

2024年12月9日，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公開了一項(xiàng)由ASML控股股份有限公司申請(qǐng)的專利，名為“光刻設(shè)備、襯底臺(tái)和不均勻涂層方法”，公開號(hào)為CN 119087748 A，申請(qǐng)日期為2020年4月。

該專利描述了一種光刻設(shè)備，包括照射系統(tǒng)、支撐件、投影系統(tǒng)以及襯底臺(tái)。襯底臺(tái)包含一個(gè)臺(tái)座，其表面覆蓋有一層不均勻厚度的涂層。這種涂層的設(shè)計(jì)使得臺(tái)座相對(duì)于名義平坦度的偏轉(zhuǎn)成為由涂層引起的應(yīng)力函數(shù)。涂層的橫截面輪廓根據(jù)應(yīng)力和不均勻厚度進(jìn)行調(diào)整，確保涂層表面保持實(shí)質(zhì)上的平坦，并在襯底臺(tái)支撐襯底時(shí)與之接觸。

(責(zé)任編輯：張小花 TT1000)
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