清華大學(xué)EUV光刻膠材料取得重要進(jìn)展 新型聚碲氧烷光刻膠問世(2)
該研究提供了一種融合高吸收元素Te、主鏈斷裂機(jī)制與材料均一性的光刻膠設(shè)計(jì)路徑，有望推動(dòng)下一代EUV光刻材料的發(fā)展，助力先進(jìn)半導(dǎo)體工藝技術(shù)革新。相關(guān)成果發(fā)表于《科學(xué)進(jìn)展》期刊。清華大學(xué)化學(xué)系2024級(jí)博士生周睿豪為論文第一作者，許華平教授為通訊作者，馬克·奈瑟與譚以正為共同通訊作者。該研究得到國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目的資助支持。
目前，國際光刻膠巨頭憑借長期的技術(shù)積累和市場優(yōu)勢，在高端光刻膠領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位。這些企業(yè)不僅擁有先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備，還具備強(qiáng)大的研發(fā)能力和豐富的市場經(jīng)驗(yàn)。例如，日本JSR在光刻膠領(lǐng)域擁有超過50年的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，其產(chǎn)品涵蓋了從g線、i線到KrF、ArF、EUV等全系列光刻膠。JSR每年投入大量資金用于研發(fā)，不斷推出新產(chǎn)品，以滿足市場對高端光刻膠的需求。此外，JSR還與全球主要的芯片制造企業(yè)建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，進(jìn)一步鞏固了其市場地位。其他國際巨頭如東京應(yīng)化、信越化學(xué)、杜邦等也各自在光刻膠領(lǐng)域擁有獨(dú)特的優(yōu)勢，形成了強(qiáng)大的競爭壁壘。清華大學(xué)的最新突破為國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展打開新的大門，有望打破國際巨頭在高端光刻膠領(lǐng)域的壟斷，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控發(fā)展提供有力支撐。
(責(zé)任編輯：zx0001)
關(guān)閉
38萬公里外找10厘米的針！中國如何用一束光撬動(dòng)宇宙探索大門 激光測月新突破
38萬公里外找10厘米的針,中國如何用一束光撬動(dòng)宇宙探索大門2025-08-18 12:00:02
雙色球頭獎(jiǎng)開8注777萬 分落這些地方 多地幸運(yùn)兒中獎(jiǎng)
雙色球頭獎(jiǎng)開8注777萬分落這些地方2025-08-18 11:59:56
蘇超官方解釋積分相同如何排名 依據(jù)相互比賽凈勝球排序
蘇超官方解釋積分相同如何排名2025-08-18 11:58:28
蘇超官方解釋積分相同如何排名 依據(jù)相互比賽凈勝球排序
蘇超官方解釋積分相同如何排名2025-08-18 11:58:28
歐洲領(lǐng)導(dǎo)人赴美為澤連斯基“壯膽” 集體焦慮的外交秀
歐洲領(lǐng)導(dǎo)人赴美為澤連斯基壯膽2025-08-18 11:12:16
巴基斯坦為印巴空戰(zhàn)英雄授勛 表彰擊落“陣風(fēng)”與摧毀S400勇士
巴基斯坦為印巴空戰(zhàn)英雄授勛2025-08-18 11:04:19
即將迎來人生新體驗(yàn)！高鐵能點(diǎn)奶茶了
高鐵奶茶2025-08-18 11:56:35
金建希穿便服戴手銬接受傳喚 再次出席調(diào)查
金建希穿便服戴手銬接受傳喚2025-08-18 11:47:49
安東·尼爾曼：會(huì)晤雖未達(dá)成任何實(shí)質(zhì)性協(xié)議，但特朗普有了一個(gè)大變化 從極限施壓到握手言歡
安東·尼爾曼,會(huì)晤雖未達(dá)成任何實(shí)質(zhì)性協(xié)議,但特朗普有了一個(gè)大變化2025-08-18 11:01:35
特朗普稱普京與澤連斯基的會(huì)晤正在籌備，預(yù)計(jì)其本人也將參加 透露會(huì)晤細(xì)節(jié)
特朗普稱普京與澤連斯基的會(huì)晤正在籌備,預(yù)計(jì)其本人也將參加2025-08-18 11:20:59
高溫+暴雨雙預(yù)警 多地面臨極端天氣考驗(yàn)
高溫+暴雨雙預(yù)警2025-08-18 11:58:02
韓國法院再次缺席審判尹錫悅 連續(xù)五次缺席庭審
韓國法院再次缺席審判尹錫悅2025-08-18 11:22:43
和田玉鑒定證書造假2元一張 市場亂象頻出
和田玉鑒定證書造假2元一張2025-08-18 11:54:53
特朗普：烏放棄兩件事可結(jié)束沖突 和平希望與挑戰(zhàn)并存
特朗普,烏放棄兩件事可結(jié)束沖突2025-08-18 11:08:01
泰國王室緊急通告！泰國長公主命懸一線！出現(xiàn)嚴(yán)重感染
泰國長公主昏迷3年后出現(xiàn)嚴(yán)重感染2025-08-18 11:50:50
李連杰發(fā)文回應(yīng)生病入院，躺床上比耶報(bào)平安，已看淡生死寫好遺囑 好友證實(shí)無礙將很快見面
李連杰發(fā)文回應(yīng)生病入院,躺床上比耶報(bào)平安,已看淡生死寫好遺囑2025-08-18 11:54:22
38萬公里外找10厘米的針！中國如何用一束光撬動(dòng)宇宙探索大門 激光測月新突破
38萬公里外找10厘米的針,中國如何用一束光撬動(dòng)宇宙探索大門2025-08-18 12:00:02
美多州派國民警衛(wèi)隊(duì)前往華盛頓，民眾反對 抗議“軍事占領(lǐng)”
美多州派國民警衛(wèi)隊(duì)前往華盛頓,民眾反對2025-08-18 11:44:46
小伙被17歲同居女友賣到緬甸 戀愛腦的慘痛代價(jià)
小伙被17歲同居女友賣到緬甸2025-08-18 11:56:59
華盛頓居民認(rèn)為特朗普舉措很荒謬 憤怒與不滿蔓延
華盛頓居民認(rèn)為特朗普舉措很荒謬2025-08-18 11:09:58
九三閱兵倒計(jì)時(shí)半個(gè)月！
九三閱兵倒計(jì)時(shí)半個(gè)月2025-08-18 11:43:26
“亮證女”丈夫被黨內(nèi)警告處分 證件管理失當(dāng)引發(fā)連鎖反應(yīng)
亮證女丈夫被黨內(nèi)警告處分2025-08-18 11:53:14
女子稱遭騎手恐嚇不敢回家 極端言語引發(fā)恐慌
女子稱遭騎手恐嚇不敢回家2025-08-18 11:53:31
聯(lián)合國聚焦巴勒斯坦問題加沙危機(jī) 以色列計(jì)劃引爭議
聯(lián)合國聚焦巴勒斯坦問題加沙危機(jī)2025-08-18 11:28:29
男子街頭瘋狂追撞女友情人車輛 被判三年緩刑三年
男子街頭瘋狂追撞女友情人車輛2025-08-18 11:52:52
雙色球頭獎(jiǎng)開8注777萬 分落這些地方 多地幸運(yùn)兒中獎(jiǎng)
雙色球頭獎(jiǎng)開8注777萬分落這些地方2025-08-18 11:59:56
韓安冉小女兒從出生到現(xiàn)在經(jīng)常生病 夫妻決定停更其單獨(dú)賬號(hào)
韓安冉小女兒從出生到現(xiàn)在經(jīng)常生病2025-08-18 11:51:22
特朗普：普京和澤連斯基會(huì)實(shí)現(xiàn)和平：期待關(guān)鍵會(huì)晤成果
特朗普,普京和澤連斯基會(huì)實(shí)現(xiàn)和平2025-08-18 11:42:56
澤連斯基已動(dòng)身飛往美國與特朗普“周一見”，歐盟及歐洲多國領(lǐng)導(dǎo)人將陪同訪美！
澤連斯基已動(dòng)身飛往美國與特朗普周一見,歐盟及歐洲多國領(lǐng)導(dǎo)人將陪同訪美2025-08-18 11:21:40
比爾蓋茨要上劉在石的韓綜 科技巨頭跨界綜藝
比爾蓋茨要上劉在石的韓綜2025-08-18 11:47:15
客運(yùn)站花3600萬建成10年未投入使用 閑置資源待激活
客運(yùn)站花3600萬建成10年未投入使用2025-08-18 11:46:08
大V稱特普會(huì)后難題給了澤連斯基 進(jìn)退維谷的選擇
大V稱特普會(huì)后難題給了澤連斯基2025-08-18 11:04:52
歐洲政要組團(tuán)訪美，能挽救澤連斯基嗎？ 避免白宮沖突重演
歐洲政要組團(tuán)訪美,能挽救澤連斯基嗎2025-08-18 11:19:45
臺(tái)灣網(wǎng)紅“館長”深圳行：落后20年？這話讓誰坐不住了
臺(tái)網(wǎng)紅館長稱有人刻意說大陸落后2025-08-18 11:04:35
澤連斯基飛往美國，歐盟領(lǐng)導(dǎo)人也將赴美 歐洲欲破美烏僵局
澤連斯基飛往美國,歐盟領(lǐng)導(dǎo)人也將赴美2025-08-18 11:44:30
相關(guān)新聞
重磅！中美會(huì)談達(dá)成重要共識(shí) 取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展
2025-05-12 15:01:40重磅中美經(jīng)貿(mào)高層會(huì)談取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展 達(dá)成重要共識(shí)
2025-05-12 07:57:29中美經(jīng)貿(mào)高層會(huì)談取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展我國艾滋病疫苗研發(fā)取得重要進(jìn)展 I期臨床試驗(yàn)成功
2025-08-05 08:59:32我國艾滋病疫苗研發(fā)取得重要進(jìn)展我國在艾滋病疫苗研發(fā)領(lǐng)域取得重要進(jìn)展 創(chuàng)新方案展現(xiàn)潛力
2025-08-04 21:58:20我國在艾滋病疫苗研發(fā)領(lǐng)域取得重要進(jìn)展事關(guān)猴痘張文宏團(tuán)隊(duì)重磅公布 新藥研發(fā)取得重要進(jìn)展
2025-04-25 08:10:37事關(guān)猴痘張文宏團(tuán)隊(duì)重磅公布以稱對停火談判“取得進(jìn)展”不知情 以方否認(rèn)進(jìn)展
2025-03-09 14:34:01以稱對?；鹫勁腥〉眠M(jìn)展不知情
