光刻膠用光引發(fā)劑走向市場 突破“卡脖子”難題
光刻膠用光引發(fā)劑走向市場 突破“卡脖子”難題。近日，湖北三峽實驗室的重大科技成果——“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實驗設(shè)備所有權(quán)”被湖北興福電子以4626.78萬元收購，即將投入生產(chǎn)。這一突破將有效緩解我國芯片制造領(lǐng)域的“卡脖子”難題，推動光刻膠產(chǎn)業(yè)自主可控。
在芯片制造過程中，光刻膠如同相機的“底片”，而此次轉(zhuǎn)讓的成果G/I線光刻膠用光引發(fā)劑的關(guān)鍵技術(shù)能夠決定光刻膠的感光度和分辨率。該項目負責人、博士周鋼翔表示，該技術(shù)主要面向國內(nèi)成熟制程、芯片制造以及面板制造行業(yè)。目前，隨著新能源汽車行業(yè)的迅速發(fā)展，大量芯片需要用到G/I線光刻膠，這款產(chǎn)品的國產(chǎn)化率也相對較高。
近年來，由于進口光引發(fā)劑不時面臨限購和斷供，國內(nèi)多家光刻膠生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)受阻。在湖北，主攻芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產(chǎn)品的興福電子公司曾想切入這一產(chǎn)業(yè)賽道，但由于從零研發(fā)的風險高而未敢貿(mào)然行動。于是，該公司向以微電子新材料為主要研究方向的三峽實驗室提出了研發(fā)需求。
據(jù)企查查數(shù)據(jù)顯示，截至1月12日，國內(nèi)光刻膠相關(guān)現(xiàn)存企業(yè)達1040家，相關(guān)專利已達1.73萬項。光刻膠用光引發(fā)劑走向市場 突破“卡脖子”難題。
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