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尹志堯:中國已能做最先進設(shè)備 中微團隊創(chuàng)紀錄突破

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2026-05-18 08:04:33  第一財經(jīng)

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯表示，2023年12月，中微決定進入大平板設(shè)備領(lǐng)域。此前大約有17種工藝設(shè)備全部依賴進口。這種新設(shè)備重達150噸，長寬各15米，高達兩層半樓高。按照尹志堯的經(jīng)驗，開發(fā)這樣的設(shè)備通常需要3到7年時間。然而，中微的精銳團隊僅用12個月就從零開始做出了可運轉(zhuǎn)的設(shè)備，并在不到4個月內(nèi)達到了客戶下一代的要求。整個過程僅用了18個月，設(shè)備便運到了生產(chǎn)線上并通過了核準。尹志堯強調(diào)，現(xiàn)在中國已經(jīng)有能力制造最先進的設(shè)備。

(責(zé)任編輯：zx0176)
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