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中國刻蝕機裝備打破國外壟斷 首創(chuàng)技術引領全球

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2026-05-19 12:37:21  新浪財經(jīng)

中國刻蝕機裝備打破國外壟斷 首創(chuàng)技術引領全球。在《對話》節(jié)目中，中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯提到，中微公司之所以能在泛林和應用材料壟斷的刻蝕機裝備市場中取得突破，主要歸功于其首創(chuàng)的甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術。這項技術在三年后被國際三大設備公司全部效仿，目前全球100%的CCP刻蝕機都采用了這一技術。此外，中微公司還率先推出了雙臺機設計，這種設計能夠節(jié)省30%以上的材料成本，并且售價遠低于國際供應商，性能也更加優(yōu)越。

(責任編輯：0882)
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