北大團隊破解光刻技術難題分子級導航系統(tǒng)引領突破(3)

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2025-10-28 11:13:17 耿彪

這種“微觀可視化”能力的突破正在改寫半導體材料的創(chuàng)新路徑。過去我們習慣于“設備依賴”，現(xiàn)在逐漸轉向“材料自主”。正如彭海琳在論文后記中寫的：“當我們能看清分子的舞蹈，就能教會它們跳更優(yōu)美的舞步?！?/p>

在合肥科學島的國家同步輻射實驗室，一臺專門為半導體材料研究定制的冷凍電鏡正在安裝調試。這臺設備將分辨率推向2納米級別，足以觀察單個光刻膠分子的構型變化?？蒲腥藛T正在培養(yǎng)皿中“種植”二維材料，試圖用冷凍電鏡指導原子級精度的薄膜生長。這些研究正在編織一張從分子設計到器件制造的創(chuàng)新網(wǎng)絡。

彭海琳團隊的突破撕開了高端半導體材料國產(chǎn)化的一道口子。但冷靜來看，這只是萬里長征的第一步。我國光刻膠在高端市場的占有率仍不足5%，KrF光刻膠剛實現(xiàn)量產(chǎn)，ArF光刻膠還在中試，EUV光刻膠更是處于實驗室階段。這個領域沒有“彎道超車”的捷徑，只有“板凳坐得十年冷”的堅守。

這項突破誕生于北京大學這樣的綜合性大學，而非專業(yè)研究所。這印證了基礎研究的“混沌創(chuàng)新”規(guī)律——冷凍電鏡原本用于生物學研究，光刻膠屬于材料科學，兩個看似不相關的領域碰撞出火花。這種跨學科融合正是破解“卡脖子”難題的關鍵。

產(chǎn)業(yè)界的“快反應”同樣重要。從論文發(fā)表到中試應用僅用8個月，得益于“新型舉國體制”下的產(chǎn)學研協(xié)同。北京市科委設立“光刻膠材料專項”，打通從實驗室到生產(chǎn)線的綠色通道；中科院化學所與上海新陽共建聯(lián)合實驗室，實現(xiàn)科研數(shù)據(jù)與產(chǎn)業(yè)需求的實時對接。北大團隊破解光刻技術難題分子級導航系統(tǒng)引領突破。

站在更宏觀的視角，光刻膠微觀結構的突破是中國半導體產(chǎn)業(yè)從“規(guī)模擴張”轉向“質量突圍”的縮影。當我們不再滿足于成為全球最大的芯片消費市場，而是要在7納米、5納米制程上擁有自主話語權時，就必須在這些“看不見的戰(zhàn)場”上建立優(yōu)勢。彭海琳團隊的冷凍電鏡圖像不僅看清了光刻膠分子的舞蹈，更照見了中國科技突圍的清晰路徑——以基礎研究的“慢變量”，支撐產(chǎn)業(yè)升級的“快反應”，最終實現(xiàn)從跟跑者到規(guī)則制定者的跨越。

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(責任編輯：0882)

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