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是什么卡了我們的脖子—— 通往超精密拋光工藝之巔,路阻且長

2018-06-26 11:21:00    新華網(wǎng)  參與評論()人

2011年,王奇博士團隊研發(fā)的“二氧化鈰微球粒度標準物質(zhì)及其制備技術(shù)”獲得中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會技術(shù)發(fā)明一等獎,相關(guān)納米級粒度標準物質(zhì)獲得國家計量器具許可和國家一級標準物質(zhì)證書。二氧化鈰新材料的超精密拋光生產(chǎn)試驗效果一舉趕超了國外傳統(tǒng)材料,填補了該領域空白。

但是王奇說:“這并不意味著我們已經(jīng)攀登到了這一領域的頂峰,對于整體工藝來說,只有拋光液而沒有超精密拋光機,我們最多還只是賣材料的。”

孫明認為,明確現(xiàn)代電子工業(yè)生產(chǎn)制造的具體要求,才能找準攻克超精密拋光工藝的方向:“拋光工藝需要滿足目前電子工業(yè)制造的要求,可以概括為超精密、大尺寸。有了頂級的拋光材料僅僅是基礎,以此為基礎,我們還需要分兩步走,首先解決磨盤問題,其次解決拋光面積擴大問題?!?/p>

孫明介紹,美國、日本拋光機磨盤的材料構(gòu)成和制作工藝一直是個謎。換言之,購買和使用他們的產(chǎn)品,并不代表可以仿制甚至復制他們的產(chǎn)品,這是兩回事。

“用什么材料和工藝才能合成這種熱膨脹率低、耐磨度高、研磨面超精密的磨盤,是我們首先需要集中力量攻克的技術(shù)難題,這個問題一旦解決,60英寸拋光作業(yè)面也將不再是夢想。而這樣的核心技術(shù),永遠不能指望從別人手中獲得,除了依靠自己,我們別無選擇?!睂O明說。(張景陽)

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