實(shí)現(xiàn)集成電路領(lǐng)域的自主創(chuàng)新發(fā)展迫在眉睫。2008年集成電路裝備專項(xiàng)實(shí)施以來，200多家企事業(yè)單位、2萬多名科研人員參與技術(shù)攻關(guān)，主要集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。經(jīng)過廣大科研人員艱苦努力，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從無到有、由弱漸強(qiáng)的巨大變化。

“我們有了自己的刻蝕機(jī)等關(guān)鍵裝備，并批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上；集成電路成套工藝水平提升5代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，20-14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端，實(shí)現(xiàn)與世界同步?！比~甜春告訴記者。

這些自主研發(fā)的設(shè)備不僅銷往國內(nèi)市場，也逐步進(jìn)入海外市場。比如，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司研發(fā)的介質(zhì)刻蝕設(shè)備不僅支持國內(nèi)芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術(shù)代的發(fā)展，而且在國際市場上各個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)水平都可以與世界最先進(jìn)設(shè)備廠商競爭。目前，中微公司已有460多個(gè)介質(zhì)刻蝕反應(yīng)臺(tái)在海內(nèi)外27條生產(chǎn)線上高質(zhì)量、穩(wěn)定地生產(chǎn)了4000多萬片晶圓；在臺(tái)積電的研發(fā)線上正在開發(fā)和核準(zhǔn)5納米刻蝕。

集成電路是所有產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用材料純度最高的產(chǎn)業(yè)?！拔覀冄兄瞥隽藪伖鈩┖蜑R射靶材等上百種關(guān)鍵材料，并通過大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉(zhuǎn)了之前工藝技術(shù)全套引進(jìn)的被動(dòng)局面，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。”葉甜春說。

建立協(xié)同發(fā)展新模式

集成電路裝備專項(xiàng)通過市場機(jī)制打通了科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，建立科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式

“集成電路裝備專項(xiàng)取得了一系列技術(shù)成果，但更重要的成果是，專項(xiàng)通過積極探索，推動(dòng)構(gòu)建了市場經(jīng)濟(jì)下的新型舉國體制?！睂ｍ?xiàng)實(shí)施管理辦公室負(fù)責(zé)人、北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)主任張伯旭說。

張伯旭所說的新型體制是通過市場機(jī)制來打通科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，推動(dòng)建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大協(xié)作，科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式。

集成電路裝備專項(xiàng)由北京市、上海市兩個(gè)地方政府牽頭組織實(shí)施，這也是唯一一個(gè)由地方政府組織實(shí)施的重大專項(xiàng)，是我國科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施模式的一次創(chuàng)新嘗試。9年來，北京市政府、上海市政府與中央部委共同強(qiáng)化專項(xiàng)的戰(zhàn)略研究和頂層設(shè)計(jì)，在重點(diǎn)區(qū)域合力布局，引導(dǎo)地方政府投入要素資源，推動(dòng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)聚集發(fā)展、調(diào)整升級，形成了科技創(chuàng)新與區(qū)域經(jīng)濟(jì)融合協(xié)同發(fā)展的新局面。