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ASML最新光刻機開始量產芯片 High-NA技術引領未來

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2026-05-21 07:47:01  太平洋科技

ASML最新光刻機開始量產芯片 High-NA技術引領未來。ASML CEO傅恪禮近日宣布，首批采用新一代高數值孔徑EUV光刻機制造的芯片產品將在未來數月內問世，涵蓋邏輯芯片和存儲芯片兩大核心領域。這種High-NA EUV光刻機是面向2nm以下先進制程的核心圖形化設備，能夠降低頂尖芯片的電路光刻成型成本，并適配AI芯片、HBM/DRAM等高端存儲芯片的制造需求。

盡管設備初期投入高昂，但設計初衷是隨著技術成熟與規(guī)?；瘧茫鸩綌偙晤w芯片的光刻成本。數周前，臺積電曾公開表示，單臺High-NA EUV光刻機造價高達4億美元，約為現有EUV設備的兩倍，暫不具備大規(guī)模采用的條件。相比之下，英特爾則積極采購High-NA EUV光刻機，并已在波特蘭工廠完成兩臺設備的安裝，累計處理超過3萬片晶圓，目標是在2027至2028年實現14A制程大規(guī)模量產。

SK海力士也明確表示計劃采用該新技術，預計今年首次導入，用于下一代DRAM內存的生產。相較于傳統(tǒng)EUV，High-NA通過提升光學系統(tǒng)分辨率，可實現尺寸縮小高達66%的特征，相當于相機對焦更為精準，是突破先進制程物理極限的關鍵技術。

(責任編輯：0882)
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