曝Rapidus已啟動2nm試產(chǎn) 制程技術迎突破
日本芯片制造商Rapidus宣布啟動2nm晶圓的測試生產(chǎn)，預計2027年正式進入量產(chǎn)階段。在Rapidus位于日本的IIM-1廠區(qū)，已經(jīng)展開了對采用2nm全環(huán)繞柵極架構（GAA）晶體管技術的測試晶圓進行原型制作。
公司確認早期測試晶圓已達到預期的電氣特性，這意味著其晶圓廠工具運作正常，制程技術開發(fā)進展順利。原型制作是半導體生產(chǎn)中的一個重要里程碑，旨在驗證使用新技術制造的早期測試電路是否可靠、高效并達到性能目標。目前，Rapidus正在測量其測試電路的電氣特性，包括臨界電壓、驅(qū)動電流、漏電流、次臨界斜率、開關速度、功耗和電容等參數(shù)。
自2023年9月動工以來，Rapidus的IIM-1廠區(qū)建設進展順利，無塵室于2024年完成，截至2025年6月已連接超過200套設備，其中包括先進的DUV和EUV光刻工具。此前，有觀點認為日本本國的半導體產(chǎn)業(yè)在中國臺灣地區(qū)和韓國半導體產(chǎn)業(yè)多年競爭后，老舊產(chǎn)線基本退出，僅剩少數(shù)設備仍在運行。在臺積電大規(guī)模投資日本工廠之前，日本連量產(chǎn)40nm制程芯片都難以實現(xiàn)，在制程領域甚至落后于中國大陸。
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