在全球科技競爭格局加速重構(gòu)的背景下,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控能力成為國家科技安全與核心競爭力的關(guān)鍵。中國半導(dǎo)體制造領(lǐng)域曾長期依賴進口設(shè)備,特別是在晶圓搬運和真空傳輸?shù)汝P(guān)鍵環(huán)節(jié),國際廠商憑借技術(shù)積累與全生態(tài)壟斷優(yōu)勢占據(jù)主導(dǎo)地位,形成難以突破的技術(shù)壁壘。
近年來,國家密集出臺多項政策支持關(guān)鍵設(shè)備與核心零部件國產(chǎn)化。新時達旗下的眾為興推出了自主研發(fā)的半導(dǎo)體機器人系列產(chǎn)品,并建成了國內(nèi)首家Class 1級潔凈室,實現(xiàn)從設(shè)計、驗證到量產(chǎn)的全流程國產(chǎn)化閉環(huán)。這標(biāo)志著新時達在高端制造領(lǐng)域的重大突破。
半導(dǎo)體制造對潔凈度要求極高,任何微小顆粒都可能導(dǎo)致芯片報廢。新時達通過結(jié)構(gòu)優(yōu)化、材料選擇和運動控制系統(tǒng)架構(gòu)創(chuàng)新,使眾為興半導(dǎo)體機器人達到ISO Class 2級潔凈標(biāo)準(zhǔn),并通過德國萊茵TüV SEMI認(rèn)證及上海國家機器人檢測與評定中心潔凈等級認(rèn)證,性能指標(biāo)達到國際先進水平。
為了保障潔凈制造質(zhì)量,新時達在上海新建了行業(yè)首個Class 1級潔凈室生產(chǎn)線,專用于眾為興半導(dǎo)體機器人的裝配、性能測試與可靠性驗證。潔凈室內(nèi)溫度濕度、顆粒濃度和靜電控制均按照晶圓廠級標(biāo)準(zhǔn)建設(shè),實現(xiàn)了全流程潔凈化管理。
新時達旗下眾為興深耕運動控制技術(shù)二十余年,成功自主研發(fā)出SDC420/SDC620系列低壓直驅(qū)驅(qū)控一體控制器,實現(xiàn)運動控制與伺服驅(qū)動的高度融合,滿足晶圓級搬運的高精度要求。此外,新時達采用非接觸式扭矩傳輸技術(shù)和低發(fā)塵、耐真空材料體系,突破了外資長期壟斷的真空驅(qū)動核心技術(shù)。
新時達的半導(dǎo)體機器人產(chǎn)品已覆蓋大氣環(huán)境到真空環(huán)境的全場景,包括晶圓制造、封裝封測、通用搬運等多個工藝環(huán)節(jié)。這些產(chǎn)品基于模塊化平臺設(shè)計,可根據(jù)客戶需求靈活配置,并完全符合SEMI國際標(biāo)準(zhǔn),支持快速集成到現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備中。